케미컬 필터, Chemical Filter [에코프로]
2020. 3. 24. 15:56
케미컬 필터, Chemical Filter [에코프로] 1 AMC • AMCs(Airborne Molecular Contaminations)란 유기물 및 무기물 같은 분자 수준의 오염물질로, 웨이퍼 제조공정에 해를 입히는 비산배출원, 배출가스 또는 증기상태로 존재함. • 초창기 Fab에서는 파티클만 제어하였으나, 회로 선폭이 미세화 됨에 따라 공정불량방지(수율향상)를 위해 AMCs 제어가 Fab 운영의 필수부분이 됨. 또한, 작업자들의 건강을 위하여 냄새이슈 등의 환경개선을 목적으로 적용됨 2 Chemical Filter • 반도체 & 디스플레이 제조산업은 고도의 미세화 프로세스에 의한 집적화 기술이 필요하며, 이에 따라 생산환경 관리가 중요함 • 클린룸 내 환경관리를 위하여 분진발생을 방지하여 고체 미..