케미컬 필터, Chemical Filter [에코프로]

 

케미컬 필터, Chemical Filter [에코프로]

 1  AMC

• AMCs(Airborne Molecular Contaminations)란  유기물 및 무기물 같은 분자 수준의 오염물질로, 웨이퍼 제조공정에 해를 입히는 비산배출원, 배출가스 또는 증기상태로 존재함.
• 초창기 Fab에서는 파티클만 제어하였으나, 회로 선폭이 미세화 됨에 따라 공정불량방지(수율향상)를 위해  AMCs 제어가 Fab 운영의 필수부분이 됨. 또한, 작업자들의 건강을 위하여 냄새이슈 등의 환경개선을 목적으로 적용됨

 2  Chemical Filter

• 반도체 & 디스플레이 제조산업은 고도의 미세화 프로세스에 의한 집적화 기술이 필요하며, 이에 따라 생산환경 관리가 중요함
• 클린룸 내 환경관리를 위하여 분진발생을 방지하여 고체 미립자를 제거하는 기술과 더불어 충분한 고도 집적화를 달성하기 위해서는 유해가스(휘발성의 유기,무기 화합물과 같은 분자상 오염물질) 제어가 절대적으로 필요함
• 유해가스를 관리하기 위하여 클린룸 내/외부 공조장치 내 케미컬필터 설치 필요

 3  Chemical Filter 종류와 제원

• 축적된 노하우 및 경험을 바탕으로 다양한 고객 맞춤형 제품 제공
• EFU, FFU, RAU 및 OAC등 다양한 공조설비에 적용 가능

 

 

 

• 구역/공정 맞는 다양한 제품 제공

 

 

Chemical Air Filter CAFILDEX® SW series

Chemical Air Filter CAFILDEX® SW series

CAFILDEX® SW series는 에코프로가 자랑하는 최신 기술이 집약된 제품으로 Media를 여러 겹 겹쳐 만드는 판넬형 제품입니다. ‘SW’는 SandWich로 제작 방식에서 유래된 제품명입니다. SW Media는 여러 겹의 Layer로 구성되어 2개 이상의 복합 가스가 제어 가능한 것이 특장점입니다.  또한 프레임 재질 및 제거 가스는 고객의 요청 및 현장을 고려하여 맞춤 설계가 가능하여 고객의 만족도가 높은 제품입니다. CAFILDEX® SW series는 기존 자사 및 타사 제품에 비하여 압력 손실이 적고 제거효율 및 수명이 우수하여 운영상 에너지 절감 효과를 기대할 수 있습니다.

적용처는 반도체 및 디스플레이 등 미세한 공정이 필요한 모든 Fab 및 연구실 등에 적용이 되며 외조기, 순환기, FFU, EFU, DCC 등 다양한 부분에 맞춤 설계하여 적용이 가능합니다. 구조 조건에 따라 필터의 두께 및 사이즈를 결정하며, 운영 조건(풍량과 타겟가스의 농도)에 따라 예상되는 필터의 수명 및 차압 등 스팩을 제공해드립니다.

 

Chemical Air Filter CAFILDEX® SW series

Chemical Air Filter CAFILDEX® SW series

CAFILDEX® SW series는 에코프로가 자랑하는 최신 기술이 집약된 제품으로 Media를 여러 겹 겹쳐 만드는 판넬형 제품입니다. ‘SW’는 SandWich로 제작 방식에서  유래된 제품명입니다. SW Media는 여러 겹의 Layer로 구성되어 2개 이상의 복합 가스가 제어 가능한 것이 특장점입니다.

또한 프레임 재질 및 제거 가스는 고객의 요청 및 현장을 고려하여 맞춤 설계가 가능하여 고객의 만족도가 높은 제품입니다. CAFILDEX® SW series는 기존 자사 및 타사 제품에 비하여 압력 손실이 적고 제거효율 및 수명이 우수하여 운영상 에너지 절감 효과를 기대할 수 있습니다.

적용처는 반도체 및 디스플레이 등 미세한 공정이 필요한 모든 Fab 및 연구실 등에 적용이 되며 외조기, 순환기, FFU, EFU, DCC 등 다양한 부분에 맞춤 설계하여 적용이 가능합니다. 구조 조건에 따라 필터의 두께 및 사이즈를 결정하며, 운영 조건(풍량과 타겟가스의 농도)에 따라 예상되는 필터의 수명 및 차압 등 스팩을 제공해드립니다.

 

Chemical Air Filter CAFILDEX® HECY series

Chemical Air Filter CAFILDEX® HECY series

 

CAFILDEX® HECY series는 원통형 제품으로 설치 시 별도의 구조물(Buffer Frame) 없이 바로 설치가 가능하고 SW Media를 적용하여 SW series와 동일하게 복합 가스 제어가 가능한 것이 특장점입니다.

원형의 형태로 프레임 제작 시 SW series와 달리 별도 금형이 필요하여 상.하판 사이즈는 변형이 어려운 단점이 있습니다. 하지만 적용 수량이 많은 경우 금형을 만들어 제작 가능합니다. 특장점은 구조물 없이 Fan에 직접 설치가 가능하다는 것입니다. CAFILDEX® HECY series는 기존 자사 및 타사 제품에 비하여 압력 손실이 적고 제거효율 및 수명이 우수하여 운영상 에너지 절감 효과를 기대할 수 있습니다.

적용처는 반도체 및 디스플레이 등 미세한 공정이 필요한 모든 Fab 및 연구실 등에 적용이 되며 FFU, EFU 등에 맞춤 설계하여 적용이 가능합니다. 구조 특성상 설치 조건으로 Fan 상부 충분한 설치 공간이 필요하며, 운영 조건 (풍량과 타겟가스의 농도)에 따라 예상되는 필터의 수명 및 차압 등 스팩을 제공해드립니다.

 

Chemical Air Filter CAFILDEX® TY series

Chemical Air Filter CAFILDEX® TY series

	CAFILDEX® TY series는 Tray안에 여재를 충진하여 제작하는 형태로 여재는 주로 첨착활성탄, 알루미나 등 제거하고자 하는 가스와 농도에 맞게 설계됩니다. TY series 는 기본 공조용 사이즈로 610*610*450T 제품을 기준으로 420*600*23T Tray 12매를  지그재그 V자 형태로 설치, 유지관리는 Tray만 교체하면 되는 제품입니다. 또한 프레임 재질은 보통 부식에 강한 SUS를 기본으로 하며, 고객 요청에 맞는 재질로 변경 가능합니다.
	CAFILDEX® TY series 는 V자 형태로 설치하여 단면적을 넓혀 압력 손실이 적고 제거효율 및 수명이 우수합니다. 적용처는 반도체 및 디스플레이 등 미세한 공정이 필요한 모든 Fab 및 연구실 등에 적용이 되며 외조기, 순환기 등 다양한 공조기에 맞춤 설계하여 적용이 가능합니다. 공간 조건에 따라 필터 BOX 및 Tray 사이즈를 결정하며, 운영 조건(풍량과 타겟가스의 농도)에 따라 예상되는 필터의 수명 및 차압 등 스팩을 제공해드립니다.

 

제품 카타로그 (케미컬 필터).pdf

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