λ³Έλ¬Έ λ°”λ‘œκ°€κΈ°

μ—μ½”ν”„λ‘œ5

볡합섀비-λ†μΆ•μ‹œμŠ€ν…œ-λŒ€κΈ°μ˜€μ—Όλ°©μ§€μ‹œμ„€ 2020. 7. 13. 23:34 이번 ν¬μŠ€νŒ…μ—μ„œλŠ” λŒ€κΈ°μ˜€μ—Όλ°©μ§€κΈ°μˆ  쀑에 흑착, νƒˆμ°© 및 μ—°μ†ŒκΈ°μˆ μ΄ κ²°ν•©λœ κ³ λ„ν™”λœ 볡합섀비-λ†μΆ•μ‹œμŠ€ν…œμ— λŒ€ν•΄μ„œ ν¬μŠ€νŒ… ν•˜κ² μŠ΅λ‹ˆλ‹€. RTO, CTO λ‹¨λ…μœΌλ‘œ λŒ€κΈ°μ˜€μ—Όμ˜ μ²˜λ¦¬κ°€ μ–΄λ €μš΄ κ²½μš°μ— μ μš©λ˜λŠ” μ„€λΉ„μž…λ‹ˆλ‹€. μ—°μ†Œμ„€λΉ„-λŒ€κΈ°μ˜€μ—Όλ°©μ§€μ„€λΉ„ 1 μ—°μ†Œ 기술 곡기 λ˜λŠ” μ‚°μ†Œ μ†μ—μ„œ 물질이 μ‚°ν™”λ˜μ–΄ λΉ›κ³Ό 열을 λ‚΄λŠ” ν˜„μƒ (산화물을 μƒμ„±ν•˜λŠ” ν™”ν•™λ³€ν™”λ₯Ό 의미) 2 μ—°μ†ŒκΈ°μˆ  별 비ꡐ μ—° μ†Œ κΈ° 술 μ—°μ†Œ λ°˜μ‘μ˜¨λ„(℃) μΆ•μ—΄μž¬ μ—΄νšŒμˆ˜μœ¨ 촉맀 μ—°λ£Œμ†Œλͺ¨λŸ‰ Thermal Oxidizer (TO) μ—΄μ‚°ν™” 800 X 60~70% X High Catalytic Thermal Oxidizer (CTO) 촉맀산화 300 X 60~70% O Middle Regenerative Thermal Oxidizer (RTO) μΆ•μ—΄μ‚°ν™” 800 O 95..
RTO (Regenerative Thermal Oxidizer) μΆ•μ—΄μ‹μ†Œκ°μ„€λΉ„- λŒ€κΈ°μ˜€μ—Όλ°©μ§€μ‹œμ„€ 2020. 7. 13. 22:47 이번 ν¬μŠ€νŒ…μ—μ„œλŠ” λŒ€κΈ°μ˜€μ—Όλ°©μ§€μ‹œμ„€μΈ RTO에 λŒ€ν•΄μ„œ μ•Œμ•„λ³΄κ² μŠ΅λ‹ˆλ‹€. λŒ€κΈ°ν™˜κ²½λ³΄μ „λ²•μ—μ„œ νκ°€μŠ€ μ†Œκ°μ„€λΉ„μ˜ μ •μ˜λŠ” κ³΅μ •μ—μ„œ λ°œμƒν•˜λŠ” κ°€μŠ€ 쀑 μ΄μš©ν•  수 μ—†λŠ” 뢀뢄을 μ •λΆ€μ˜ 법적 κ·œμ œμ— λ§Œμ‘±ν•˜λ„λ‘ 고온의 열을 μ΄μš©ν•˜μ—¬ μ‚°ν™” μ‹œμΌœ λ°°μΆœν•˜λŠ” μ„€λΉ„λ‘œ μ •μ˜λ©λ‹ˆλ‹€. RTO (Regenerative Thermal Oxidizer) : νœ˜λ°œμ„± μœ κΈ°ν™”ν•©λ¬Ό(νƒ„ν™”μˆ˜μ†Œ ν•¨λŸ‰μ΄ 0.5% 미만)κ³Ό μ•…μ·¨κ°€ μ‹¬ν•œ λ¬Όμ§ˆλ“€μ„ λͺ¨μ•„μ„œ μ†Œκ° μ‹œν‚€λŠ” μ„€λΉ„ μ—°μ†Œμ„€λΉ„-λŒ€κΈ°μ˜€μ—Όλ°©μ§€μ„€λΉ„ 1 μ—°μ†Œ 기술 곡기 λ˜λŠ” μ‚°μ†Œ μ†μ—μ„œ 물질이 μ‚°ν™”λ˜μ–΄ λΉ›κ³Ό 열을 λ‚΄λŠ” ν˜„μƒ (산화물을 μƒμ„±ν•˜λŠ” ν™”ν•™λ³€ν™”λ₯Ό 의미) 2 μ—°μ†ŒκΈ°μˆ  별 비ꡐ μ—° μ†Œ κΈ° 술 μ—°μ†Œ λ°˜μ‘μ˜¨λ„(℃) μΆ•μ—΄μž¬ μ—΄νšŒμˆ˜μœ¨ 촉맀 μ—°λ£Œμ†Œλͺ¨λŸ‰ Thermal Oxidizer (TO) μ—΄μ‚°ν™” 800 X 60~70%..
CTO (Regenerative Thermal Oxidizer) μ΄‰λ§€μ—°μ†Œμ„€λΉ„- λŒ€κΈ°μ˜€μ—Όλ°©μ§€μ‹œμ„€ 2020. 7. 13. 21:13 이번 ν¬μŠ€νŒ…μ—μ„œλŠ” λŒ€κΈ°μ˜€μ—Όλ°©μ§€μ‹œμ„€μΈ CTO에 λŒ€ν•΄μ„œ μ•Œμ•„λ³΄κ² μŠ΅λ‹ˆλ‹€. λŒ€κΈ°ν™˜κ²½λ³΄μ „λ²•μ—μ„œ νκ°€μŠ€ μ†Œκ°μ„€λΉ„μ˜ μ •μ˜λŠ” κ³΅μ •μ—μ„œ λ°œμƒν•˜λŠ” κ°€μŠ€ 쀑 μ΄μš©ν•  수 μ—†λŠ” 뢀뢄을 μ •λΆ€μ˜ 법적 κ·œμ œμ— λ§Œμ‘±ν•˜λ„λ‘ 고온의 열을 μ΄μš©ν•˜μ—¬ μ‚°ν™” μ‹œμΌœ λ°°μΆœν•˜λŠ” μ„€λΉ„λ‘œ μ •μ˜λ©λ‹ˆλ‹€. CTO (Catalytic Thermal Oxidizer) : νœ˜λ°œμ„± μœ κΈ°ν™”ν•©λ¬Όκ³Ό μ•…μ·¨ λ¬Όμ§ˆμ„ 직화 μ†Œκ°μ΄ μ•„λ‹Œ 촉맀에 μ˜ν•΄ λ°œμƒλ˜λŠ” λ°˜μ‘μ—΄μ„ μ΄μš©ν•˜μ—¬ μ†Œκ°μ‹œν‚€λŠ” μ„€λΉ„ μ—°μ†Œμ„€λΉ„-λŒ€κΈ°μ˜€μ—Όλ°©μ§€μ„€λΉ„ 1 μ—°μ†Œ 기술 곡기 λ˜λŠ” μ‚°μ†Œ μ†μ—μ„œ 물질이 μ‚°ν™”λ˜μ–΄ λΉ›κ³Ό 열을 λ‚΄λŠ” ν˜„μƒ (산화물을 μƒμ„±ν•˜λŠ” ν™”ν•™λ³€ν™”λ₯Ό 의미) 2 μ—°μ†ŒκΈ°μˆ  별 비ꡐ μ—° μ†Œ κΈ° 술 μ—°μ†Œ λ°˜μ‘μ˜¨λ„(℃) μΆ•μ—΄μž¬ μ—΄νšŒμˆ˜μœ¨ 촉맀 μ—°λ£Œμ†Œλͺ¨λŸ‰ Thermal Oxidizer (TO) μ—΄μ‚°ν™” 800 X 60~70..
SCR-NOx 저감, SNCR-NOx 저감 제거 기술 [λŒ€κΈ°μ˜€μ—Όλ°©μ§€κΈ°μˆ ] 2020. 7. 8. 22:00 SCR , SNCR - NOx 저감 기술 SCR (Selective Catalytic Reduction) - 선택적 ν™˜μ› 촉맀 λ°°κ°€μŠ€μ— ν™˜μ›μ œ(μ•”λͺ¨λ‹ˆμ•„ λ“±)λ₯Ό 뢄사 ν•˜μ—¬ 촉맀측을 ν†΅κ³Όμ‹œμΌœ μƒλŒ€μ μœΌλ‘œ μ €μ˜¨μΈ 250~400β„ƒμ—μ„œ NOx의 ν™˜μ›λ°˜μ‘μ„ 효과적으둜 진행 μ‹œν‚€λŠ” μ‹œμŠ€ν…œμž…λ‹ˆλ‹€. 주둜 보일러, λ°œμ „μ‹œμ„€, 폐수.폐기물.νκ°€μŠ€ μ†Œκ°μ²˜λ¦¬ μ‹œμ„€ 등에 μ μš©λœλ‹€. SCR법은 μ΄‰λ§€ν•˜μ—μ„œ NH3, CO, νƒ„ν™”μˆ˜μ†Œ λ“±μ˜ ν™˜μ›μ œλ₯Ό μ‚¬μš©ν•˜μ—¬ NOxλ₯Ό N2둜 μ „ν™˜μ‹œν‚€λŠ” κΈ°μˆ μ΄λ‹€. SCR법은 ν˜„μž¬κΉŒμ§€ 신뒰성이 λ†’κ³ , μ •ν™”νš¨μœ¨μ΄ λ†’μ•„ 상업적 μ§ˆμ†Œμ‚°ν™”λ¬Ό 처리기술둜 λ°œμ „ν•˜μ˜€λ‹€. SCR법은 촉맀λ₯Ό μ΄μš©ν•˜λŠ” NOx μ €κ°κΈ°μˆ λ‘œ μ΄‰λ§€λŠ” 크게 κΈˆμ†μ‚°ν™”λ¬Ό 촉맀와 Zeolite둜 κ΅¬λ³„λ˜λ©°, ν™˜μ›μ œμ— 따라 νƒ„ν™”μˆ˜μ†Œ λ°˜μ‘λ²•κ³Ό μ•”λͺ¨λ‹ˆμ•„ λ°˜μ‘λ²•μœΌλ‘œ ..
케미컬 ν•„ν„°, Chemical Filter [μ—μ½”ν”„λ‘œ] 2020. 3. 24. 15:56 케미컬 ν•„ν„°, Chemical Filter [μ—μ½”ν”„λ‘œ] 1 AMC • AMCs(Airborne Molecular Contaminations)λž€ 유기물 및 무기물 같은 λΆ„μž μˆ˜μ€€μ˜ μ˜€μ—Όλ¬Όμ§ˆλ‘œ, 웨이퍼 μ œμ‘°κ³΅μ •μ— ν•΄λ₯Ό μž…νžˆλŠ” λΉ„μ‚°λ°°μΆœμ›, λ°°μΆœκ°€μŠ€ λ˜λŠ” μ¦κΈ°μƒνƒœλ‘œ μ‘΄μž¬ν•¨. • 초창기 Fabμ—μ„œλŠ” νŒŒν‹°ν΄λ§Œ μ œμ–΄ν•˜μ˜€μœΌλ‚˜, 회둜 선폭이 λ―Έμ„Έν™” 됨에 따라 κ³΅μ •λΆˆλŸ‰λ°©μ§€(수율ν–₯상)λ₯Ό μœ„ν•΄ AMCs μ œμ–΄κ°€ Fab 운영의 ν•„μˆ˜λΆ€λΆ„μ΄ 됨. λ˜ν•œ, μž‘μ—…μžλ“€μ˜ 건강을 μœ„ν•˜μ—¬ λƒ„μƒˆμ΄μŠˆ λ“±μ˜ ν™˜κ²½κ°œμ„ μ„ λͺ©μ μœΌλ‘œ 적용됨 2 Chemical Filter • λ°˜λ„μ²΄ & λ””μŠ€ν”Œλ ˆμ΄ μ œμ‘°μ‚°μ—…μ€ κ³ λ„μ˜ λ―Έμ„Έν™” ν”„λ‘œμ„ΈμŠ€μ— μ˜ν•œ 집적화 기술이 ν•„μš”ν•˜λ©°, 이에 따라 μƒμ‚°ν™˜κ²½ 관리가 μ€‘μš”ν•¨ • 클린룸 λ‚΄ ν™˜κ²½κ΄€λ¦¬λ₯Ό μœ„ν•˜μ—¬ λΆ„μ§„λ°œμƒμ„ λ°©μ§€ν•˜μ—¬ 고체 λ―Έ..

ν‹°μŠ€ν† λ¦¬νˆ΄λ°”