고령 반도체 관련 공장 메틸클로로실란 누출사고 (2020.07.24)

고령 반도체 관련 공장 메틸클로로실란 누출사고 (2020.07.24)

2020년 7월 24일 오후5시45분경
경북 고령에 있는 한 반도체 부품공장에서 유해화학물질인 '메틸클로로실란'이 누출되는 사고가 발생했다.  유출된 메틸클로로실란이 주변에 있던 화학물질과 반응하여 염화수소(HCl)가 다량으로 발생했다. 다행히 휴업중인 공장에서 발생한 사고여서 인명피해는 없었다.

 

methyl chloro silane reaction

✓ methyl chloro silane은 실리콘을 만들때 원료로 사용되는 물질이다. 아래의 실리콘 반응식에서 보듯이 메틸클로로실란 물잘은 물과 반응하면 염화수소(HCl)가스가 발생된다. 

✓ 메틸클로로실란은 인화성물질이므로 화재에 취약하다. 화재가 발생하였을때 물을 주수하게 되면 HCl가스가 발생한다. 누출원에 직접 주수하면 안된다.

SiHCl2CH3 + H2O → SiHClCH3OH + HCl

✓ 탱크 화재시 탱크에 직접 주수하면 탱크가 결빙될수 있으므로 노출원 또는 안전장치에 직접주수하면 안된다.
✓ 메틸클로로실란은 산소와의 반응하여 SiO2, HCl, CH3Cl 물질을 생성하게 되므로 대기와의 접촉역시 차단되어야 한다. 

SiHCl2CH3 + O2 → SiO2 + HCl + CH3Cl

 

최근 이동식용기 화학물질 누출에 의한 사고사례

최근 화학물질 누출에 의한 사고사례

 사례1 
2020년 5월 충청남도 ○○○사업장의 촉매연구개발센터(ACS)*에서, 생산된 촉매제품을 이동식 용기(1㎥, TOTE BIN)에 충진 작업 중 원인불명의 과압으로 안전밸브가 동작되어 포장실 내부로 배출되면서 발생한 폭발?화재에 의하여 작업자 3명이 상해를 입음
 

(붙임1)_KOSHA-MIA-2020-14_유기촉매_누출로_인한_화재폭발사고_OPL(최종).hwp

4.63MB

 사례2 
2020년 7월 경북 소재 반도체 제조공정에서 작업자 2명이 TCS(트리클로로실란) 약품공급 캐비넷에 사용한 용기교체를 위해 이동식대차를 사용하여  이송작업하는 과정에 용기가 넘어졌으며, 용기 상부의 배관노즐 접합부가 손상되면서 TCS가 누출되어 근로자 7명이 병원 진료를 받음

(붙임2)_KOSHA-MIA-2020-20_급성독성물질_누출_사고사례_OPL.hwp

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